PS系列真空泵

PS系列真空泵详细介绍如下：

1、结构简单、故障率低、成本较低，易维修。

2、高压端功耗相对低，适用于高负载运用场合。

3、排气路径短，减少反应物沉积。 适用于一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程

水冷系统Water Cooling System：

水冷却系统通过外接冷却水冷却泵体,最大限度的保护了真空泵，避免了温度过高对泵产生的不良影响；

The water cooling system uses the fresh cooling water to cool the pump case, it mostly protect the pump damage from the higher temperature.

冷却水流量：不少于6L/min@15℃～10 L/min@30℃

  Cooling water: No less than 6L/min@15℃～10 L/min@30℃

 冷却水进水温度：15~30℃

 Temperature of the cooling water supply: 15~30℃

 冷却水供水压力：2-4 bar，排水无背压

 Pressure of the cooling water supply: 2-4 bar, water return no pressure

 

氮气吹扫系统Nitrogen purge system

进气口气体吹扫接口，可根据实际工艺情况选择使用。干燥氮气吹扫有利于帮助将可凝性气体彻底排出。也可用于低温条件下帮助预热真空泵。

One port for pump stop purge at the pump inlet, customer can choose use it or not. Nitrogen purge is helpful for removing the condensate, and it also can help to warm the pump under low temperature.

氮气密封保护可有效防止工艺气体从泵腔密封处泄漏到油箱使润滑油性能下降造成对泵的损坏。

Nitrogen-sealed protection purge can prevent the process gas leaking to the oil box then damage the pump by decreasing the capability of the oil.

-氮气吹扫管路路附件Nitrogen purge system piping connection：

N2 pressure gauge

N2 pressure regulator

 排气消音器及排气止回阀， Discharge silencer and Discharge check valve

排出管路配有不锈钢消音器，降低噪音.排气止回阀，防止气体返流。

Discharge silencer at discharge line will reduce noise and discharge check valve avoid the gas sucked back